机译:沉积后退火对通过等离子体增强原子层沉积在p-Si上生长的β-Ga2O3薄膜的电学性能的影响
机译:通过等离子体增强原子层沉积生长的Ga2O3薄膜的化学,光学和电学特性
机译:通过等离子体增强原子层沉积生长的Ga2O3薄膜的化学,光学和电学特性
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:退火气氛对原子层沉积生长ZnO薄膜光电性能的影响
机译:用于多功能薄膜电子设备的等离子增强原子层沉积氧化锌。
机译:快速热退火对原子层沉积生长Zr掺杂ZnO薄膜的结构电学和光学性质的影响
机译:沉积后退火对通过等离子体增强原子层沉积在p-Si上生长的β-Ga2O3薄膜的电学性能的影响